中微公司 Primo Domingo 全球首台付运，面向 GAA 与 3D DRAM 高选择性刻蚀
中微公司宣布，其 Primo Domingo 气相高选择性刻蚀设备的全球首台机已付运国内一家重要集成电路研发制造客户。该设备面向 GAA 晶体管、3D NAND 和 3D DRAM 等下一代三维器件工艺，中微称其填补了国内在下一代 3D 半导体器件制造中关键刻蚀工艺的自主化空白。该设备今年 3 月已发布，此次付运意味着从产品发布进入客户端实际验证环节，是中国半导体设备自主化进程中的一个里程碑。
报道来源
- IT之家2026-10-22 08:47